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空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:阿瑞斯-µVOC空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)無(wú)空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo),通過(guò)污染物源頭控制、傳播控制,實(shí)時(shí)監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級(jí)過(guò)濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn),持久監(jiān)測(cè)AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過(guò)濾器突發(fā)性壽命減少等。
uVOC-CAM提供給客戶一個(gè)實(shí)時(shí)快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測(cè)方案,不需要采樣,離線測(cè)量。

產(chǎn)品目錄
詳細(xì)介紹
品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,農(nóng)業(yè),石油,能源

概述:

空氣分子污染物(AMC)對(duì)于高科技生產(chǎn)過(guò)程是關(guān)鍵性因素,特別是微電子行業(yè),有機(jī)污染物是生產(chǎn)過(guò)程中的消極因素,會(huì)導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題而產(chǎn)生的成本增加。


無(wú)空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo),通過(guò)污染物源頭控制、傳播控制,實(shí)時(shí)監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級(jí)過(guò)濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn),持久監(jiān)測(cè)AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過(guò)濾器突發(fā)性壽命減少等。


阿瑞斯-μVOC提供給客戶一個(gè)實(shí)時(shí)快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測(cè)方案,不需要采樣,離線測(cè)量。


檢測(cè)限達(dá)到sub-ppb級(jí)

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC,內(nèi)部來(lái)自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過(guò)程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設(shè)備維護(hù)修理時(shí)散發(fā)等,外部來(lái)自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物,以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

一旦AMC空氣分子污染物超標(biāo)會(huì)引起一系列嚴(yán)重后果,比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。


 

可測(cè)組份

2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH

(t-乙酸丁脂)二羥基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH

2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH

六甲基二硅胺烷(CH3 ) 3SiNHSi(CH3)3

異丙醇(CH3 ) 2CHOH

二乙氨基乙醇(C2H5)2NC2H5OH

乙醇胺 H2NCH2CH2OH

鄰苯二甲酸二辛酯C6H4(C=OOC8H15)2

環(huán)己胺C6H11NH2

鄰苯二甲酸二乙酯C6H4(C=OOC2H5)2

環(huán)聚二甲基硅氧烷(-Si(CH3)2O-)n

鄰苯二甲酸二丁酯 C6H4(C = OOC4H9)2

對(duì)二氯苯CIC6H4CL

三乙胺(C2H5 ) 3N

鄰苯二甲酸二壬酯C6H4(C=OOC9H19)2

鄰苯二甲酸二環(huán)己酯C6H4(C=OOC6H11)2

鄰苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2

磷酸三乙酯(C2H5O ) 3P=0

十甲基環(huán)五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)5

十二甲基環(huán)五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)6

二甲苯(CH3)2C6H4

三甲酚磷酸酯(CH3C6H4O ) 3P=0

三甲基硅醇C3H10OSi

......

 

亮點(diǎn)

一般特點(diǎn):

  • 在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測(cè)全部自動(dòng)化系統(tǒng)

  • 低濃度VOC監(jiān)測(cè)

  • 獨(dú)立分開(kāi)測(cè)量有機(jī)物成份

  • Sub-ppb檢測(cè)限

  • 集成計(jì)算機(jī)和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能

應(yīng)用

  • 潔凈間污染物監(jiān)測(cè)

  • 過(guò)濾器狀態(tài)監(jiān)測(cè)

  • 加工過(guò)程全組份測(cè)量診斷污染物

 

 
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